Sievers分析仪（威立雅）
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300 00022 - Sievers超纯水硼分析仪在优化EDI功率设置和性能时的应用

2025-07-11
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300 00022 - Sievers超纯水硼分析仪在优化EDI功率设置和性能时的应用

概述  全球众多的半导体超纯水（UPW，Ultrapure Water） 系统在清除污染物时 ， 电除盐 （ EDI ， Electrodeionization）是不可或缺的重要工艺步骤。 EDI 技术利用离子交换（IX，Ion Exchange）树脂、 离子渗透膜和高电位，持续清除超纯水中的离子污染 物，同时在 EDI 模块中再生出可用树脂。对出水进 行实时在线监测，可以确保超纯水质量、正确控制 EDI 电压、最大限度地提高工厂运营效率。 在 EDI 模块中施加电压，产生极性电场，使离子穿 过交换树脂层和离子渗透膜。

在 EDI 模块的离子交 换层中，树脂捕获离子，产生不含离子的超纯水，同 时电位持续再生出可用树脂。因此，EDI 系统在日常 运行中需要消耗大量电能。

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